铜的多脉冲飞秒激光划线研究：烧蚀槽发展分析及建模修改

作者

王超,蔡玉奎,唐宽欣,宋庆华,刘占强

摘要

对铜的飞秒激光多脉冲划线的理论和实验研究将为提高激光加工质量在实际应用中提供有价值的见解。本研究通过纳入随温度变化的参数并引入一种包含熔化和过热现象的新型相变处理，增强了双温模型。研究发现，激光照射后晶格和电子温度的变化可以分为不同的阶段，表现出不同的趋势，相爆炸成为单脉冲模拟中控制材料去除的主要机制。不同激光峰通量下多脉冲划线实验与模拟凹槽深度对比F0每个点 N 的重复曝光显示，随着 N 在不同 F 下的增加，模拟和实验结果几乎呈线性增加0.最后，提出了一种考虑烧蚀前沿进展对激光吸收影响的建模修正方法。修改后的仿真结果表明，仿真误差比原始误差降低了9.2%至11.3%。

图形摘要