作者
刘伟明,朱旭丹,丁一帆,唐宏宇,徐沛然,黄甜甜,郑宇翔,陈昕,张荣军
摘要
采用原子层沉积，AlGaOx精心合成了不同Al浓度的薄膜。全面的表征包括化学成分、元素深度分布、结构清晰度和界面描述，明确证明了薄膜的卓越品质。使用透射光谱和椭偏光谱仪严格评估光学特性，并通过 SE 拟合确定宽光谱范围的光学常数。在透射率光谱和消光系数中都观察到吸收边缘的一致蓝移归因于铝的掺入。通过X射线光电子能谱、O 1s能量损失谱的精细扫描和价带分析进行详细探索，发现导带的演化有助于调节带隙。为了确定深紫外光探测的可行性，基于AlGaO的光电探测器x是捏造的。光电流和响应峰值波长的蓝移与Al含量的增加相关。在特定场合，AlGaOx基于检测器的责任为 0.05 A/W 和 7×1013琼斯的侦查性。值得注意的是，该探测器表现出值得称赞的开/关能力，其特点是快速上升和衰减时间分别为 0.26 s 和 0.17 s。本研究广泛研究了非晶态AlGaO的化学、结构和光学特性x薄膜，以及 AlGaO 的光电能力x基于设备的设备。我们的研究提出了一种增强深紫外检测的可行策略，展示了非晶带隙工程的成功实施。这一努力为紫外检测器的未来发展带来了希望。
