使用自进化光子筛在极紫外辐射下自由光形聚焦

作者：

崔怀宇,张秀萍,李尤,赵东迪,张俊勇 & 赵永鹏

抽象

极紫外辐射是一种很有前途的工具，不仅可以用于探测微观活动，还可以用于处理纳米级结构和进行高分辨率成像。在这项研究中，我们展示了一种在单次相干EUV激光器下使用自进化光子筛产生自由光形聚焦的创新方法;这包括涡旋聚焦整形、阵列聚焦和结构光整形。结果表明，自进化的光子筛，由大量在一块Si上制造的特定针孔组成3N4膜，能够自由调节EUV光场，而高性能聚焦元件对此极度缺乏，更不用说自由光形状聚焦了。我们提出的多功能光子筛是EUV区域聚焦技术的关键突破，为高分辨率软X射线显微镜、材料科学光谱学、更短的光刻以及下一代同步辐射和自由电子激光器中的阿秒计量学铺平了道路。