通过静电纺丝和化学沉积实现铜纳米纤维网络的微加热器

　　作者：

　　金娜京,金康铉,张汉索尔,太昌安,申贤俊 & 金根惠

　　摘要

　　在本报告中，我们介绍了一种基于铜纳米纤维网络的微加热器的开发，该微加热器专为电子显微镜、气体传感和细胞培养平台的应用而设计。晶种层是化学沉积所必需的，是通过对含钯的聚乙烯吡咯烷酮溶液进行静电纺丝，然后进行热处理来制备的。该工艺使纳米纤维之间的接触电阻最小化。通过控制静电纺丝时间、热处理条件和化学镀膜时间，成功制备了温度分布均匀的微加热器。我们通过检查纳米纤维密度、薄层电阻和透射率来评估微加热器的电学和热特性。通过施加电流来评估微加热器的性能，并验证了其加热到最高 350 °C 的能力。 我们通过红外热像仪进一步观察了微加热器在不同电流水平下的温度分布。整个制造过程在常压下进行，无需掩膜或蚀刻工艺。这使得该方法很容易适应微型器件的大规模生产。该方法有望适用于各种材料和尺寸，与通过微机电系统工艺开发的商业生产的微加热器相比，具有成本效益，后者需要复杂的设备和高成本。