OVID-19大流行是新出现和重新出现的传染性病原体的持续挑战。紫外线在100~400nm的波长范围内具有很高的能量，通过破坏微生物、细菌、氧气等的结合，用于杀菌、空气净化、医疗等。
传统的杀菌紫外线有一些局限性。已经有了一个突破，远紫外线无法穿透我们皮肤表面的死细胞层，也无法穿透我们的眼睛。因此，它无法到达或损害我们体内的任何活细胞[1].简而言之，暴露在远紫外线下对人是安全的，但对空气中的病毒可能是致命的。此外，100~200nm的真空紫外范围被积极用于光刻和表面重整清洗等半导体领域。
如上所述，对仅准确检测远紫外线和VUV特定波长范围的传感器的需求正在增长。
韩国UV传感器制造商Genicom UV Sensor Laboratory开发了一种远紫外和VUV专用光学传感器，该传感器只能通过AlN III-V化合物半导体外延生长技术测量远紫外或VUV光，该技术使用高温金属有机化学气相沉积。
与传统的硅基传感器不同，韩国UV传感器制造商Genicom开发的VUV传感器使用具有超宽带隙AlN外延的氮化物半导体。它具有完美的日盲特性，由于晶体质量高，在 240 或 210nm 以上的波长下不会发生反应。此外，所开发的光学传感器具有光伏特性，可以利用吸收层AlN和透明Ni电极之间的功函数差异引起的肖特基特性来检测0V时光源的强度。由于光伏特性，自供电光学传感器不需要电压模块。
传感器采用TO-46封装，吸收层面积为1.96mm2，具有低噪声特性，暗电流为 10pA 或更低。
