三星正在开发“智能传感器系统” 以提高半导体良率和生产能力

据报道，三星电子正在开发一种“智能传感器系统”来控制和管理半导体工艺。该系统有望提高半导体良率和生产率。智能传感器系统旨在实时监控和分析生产过程。它可以检测可能出现的任何问题，并提供解决方案以提高产量和生产能力。三星计划逐步扩大智能传感器的开发和应用范围。

半导体良率被认为是控制晶圆加工废物产生、环境和财务可持续性、上市时间和成本的最重要因素。良率问题主要是由于高度复杂的半导体制造工艺而发生的，单个晶圆可能需要三到六个月的时间才能准备好发货，并且必须通过严格的质量控制措施。

提高半导体良率的关键点之一是在半导体生产过程中精确控制等离子体的均匀性和密度。“智能传感器系统”用于测量晶圆等离子体均匀性，并准确测量和管理蚀刻。该工艺有望提高半导体良率和产能。三星现有的晶圆智能传感器大多是从美国等国外制造商那里采购的，耗资数千万韩元。最近对增产的需求激增，迫使三星转向内部研究，减少对外国传感器的依赖。

三星电子正在开发的智能传感器是超小型的。这意味着它们不会对现有设备空间产生重大影响。这意味着可以在提高空间利用率的同时提高生产能力。