Onto Innovation的子公司4D Technology今天宣布推出AccuFiz Duo Fizeau干涉仪。
AccuFiz Duo 动态干涉仪将行业领先的 AccuFiz D 短相干功能与长相干功能独特地结合到一个系统中。
AccuFiz Duo 的短相干模式采用与 AccuFiz D 相同的专利技术，可实现对振动不敏感的同轴动态测量，从而实现光学级表面的高精度测量。AccuFiz Duo 具有较短的相干长度光源，无需涂层表面即可测量平面和透镜，以衰减外来干涉条纹。该模式可对厚度低至 0.2mm 的平面平行透明表面进行表面误差、透射波前误差、远腔、楔块、光学厚度和均匀性测量。
AccuFiz Duo 的额外长相干光源使用稳定的氦氖激光器，并具有标准相移 Fizeau 干涉仪的所有优点。长相干模式可实现超长腔体测量，并具有空间载流子动态模式作为振动和湍流缓解选项。它也可用于标准曲率半径测量。632.8nm氦氖光源也有助于使用数字全息图进行测量。
AccuFiz Duo 具有与 AccuFiz D 相同的紧凑、轻巧的设计，具有 2 个源模块，可在实验室或车间对更广泛的光学器件进行测量。
4D Technology 的用户友好型 4Sight Focus 分析软件在这两种模式下都是通用的。2D 和 3D 显示、过滤和遮罩工具使量化关键表面形状变得简单;Zernike、Seidel、几何和衍射分析都很容易进行。
新的AccuFiz Duo激光干涉仪延续了4D Technology的传统，即提供一些世界上性能最高的干涉仪，并以行业领先的服务和应用支持为后盾。
在实验室或车间测量更广泛的光学元件AccuFiz Duo 具有不敏感的振动短相干模式和可选的空间载波长相干模式，可以在其他仪器根本无法操作的环境中运行。在实验室或车间使用 AccuFiz Duo 进行测量：
窗户、薄玻璃、蓝宝石晶圆
圆顶和其他弯曲的透明组件
平面、球体、棱镜
抛光半导体元件
远程腔体
实心腔
光学厚度和均匀性
组件和系统的传输
光学系统的快速对准
在真空室和环境室中进行测试
