国家知识产权局近期公告，三星电子株式会社成功申请了一项引人瞩目的专利，名为“照明校正设备”，公开号为 CN117631470A，申请日期定格在2023年8月。
专利摘要中显示，这一创新的照明校正设备专为校正从曝光设备入射于掩模板上的辐射束而设计。该设备包括多个指状物，每个指状物都具有面对辐射束的入射方向的表面。这些指状物在第一方向上排列为邻近于辐射束的路径，并通过在与第一方向交叉的第二方向上的移动，调整入射辐射束的量。
照明校正设备中的多个指状物通过精巧的设计，在联动的控制器的作用下，实现在第一方向上辐射束的均匀调整。这一构造突破传统照明校正设备的局限，为更广泛领域的应用提供了全新的可能性。
设备配备了先进的控制器，连接至多个指状物，通过精准的运动控制，保证辐射束的强度在第一方向上实现均匀分布。这一智能控制系统使得照明校正更为精准、高效。
专利中提到的至少一个光学传感器被布置在多个指状物中的至少一个表面上。这一设计使得设备能够实时监测辐射束的强度，从而实现对照明效果的及时调整。
照明校正设备配备了测量单元，该单元基于光学传感器的输出，精准测量辐射束的强度。这一创新的测量单元为设备提供了更高的测量精度和数据准确性。
