近日，中国科学技术大学光电子科学与技术安徽省重点实验室的微纳光学与技术课题组在光学感测领域取得了新的进展。教授王沛和副教授鲁拥华带领的研究团队成功设计了一种光学超表面，通过将位移信息映射为双通道偏光干涉的光强变化，实现了平面内任意移动轨迹的大量程、高精度非接触感测。这一创新性的研究成果近期在线发表于《科学·进展》期刊。
在精密测量领域，纳米级长度和位移测量一直是关键基础研究。传统的光学干涉仪虽然可以实现高精度的测量，但由于系统复杂、易受环境干扰等因素限制，需要更为创新的解决方案。因此，课题组在之前的研究基础上提出了一项基于超表面光场调控的二维位移精密测量技术。
经过实验证明，这一技术的精度达到了0.3纳米，同时，测量量程更是超过了200微米。这意味着这项技术在实现高精度测量的同时，还保持了足够大的测量范围，为实际应用提供了更多可能性。
该技术具备同时测量二维位移信息的能力，可广泛应用于跟踪二维平面内的任意复杂运动。这一特性对于在半导体叠对误差测量、精密对准与跟踪等领域具有关键作用，将为相关产业的发展提供有力支持。
研究团队的工作拓展了光学超表面的应用领域，提升了精密位移光学传感技术的可靠性和集成度。这项创新展示了超表面光场调控的能力，为传统光学技术注入新的活力和可能性。
中国科学技术大学的这一研究成果标志着超表面技术在光学感测领域的引领地位。通过将二维位移信息与光学干涉相结合，他们成功突破了微纳级位移精密测量的技术瓶颈，为相关行业的科研和应用提供了新的思路和方向。
