创新、定制和可持续——这些是弗劳恩霍夫IPMS众多研究项目的关键词。在 2024 年 1 月 27 日至 2024 年 2 月 1 日在旧金山举行的 SPIE Photonics West 光子学展览会上，该研究所将展示微光学、基于 MEMS 的光调制器和生物光子学等领域的发展和进展。
弗劳恩霍夫光子微系统研究所IPMS是开发和生产电子、微机械和光学元件及其集成到智能系统中的领先研究机构之一。凭借创新的微机电系统和微光机电系统，该研究所通过改进的性能和附加功能开辟了新的应用。其中包括更小的尺寸、更高的能效和更高的性能。该研究所将在旧金山举行的光子学技术活动SPIE Photonics上展示其众多研究成果中的一些。
用于高分辨率照明控制的光子微系统
Fraunhofer IPMS在半导体芯片上开发了具有多达数百万个反射镜的空间光调制器。所谓的活塞式微镜阵列可实现高帧率和高精度波前调制。一个新的应用领域是在增强现实、虚拟现实和混合现实等应用中生成计算机生成的全息图。Fraunhofer IPMS开发的微镜阵列的特点是对每个像素的偏转进行精确的模拟控制，并具有较宽的波长范围。其他潜在应用包括高分辨率 DUV 显微光刻、自适应光学和波前控制。最新的表征和仿真结果将在SPIE Photonics West的演讲中展示。在展台上可以看到各种真实的微镜阵列和放大的功能模型。
定制MEMS扫描仪设计和合格生产
Fraunhofer IPMS在开发和生产基于单晶硅的MEMS扫描仪方面拥有丰富的专业知识。这些元件的特点是扫描角度大、扫描频率高、片上位置传感器和出色的长期稳定性。
在展会上，该研究机构将首次展示一种新型静电驱动的矢量扫描仪，可用于紧凑型医疗激光器的快速光束定位。该激光器是为治疗视网膜疾病而开发的，具有高精度和快速的矢量光束定位，以及高能效和高激光功率的适用性。
此外，这种方法允许使用Fraunhofer IPMS自己的AME75技术进行制造，因此矢量定位和共振扫描仪振荡1D、2D的所有组合现在都可以用一种制造技术实现。这大大扩展了Fraunhofer IPMS MEMS扫描仪的设计空间。
使用光子生物传感器进行无标记检测
无标记检测方法具有很高的应用潜力。它们提供更简单的医学诊断工具，可以在实验室外使用，使非专业用户也可以使用。Fraunhofer IPMS基于采用氮化硅技术制造的集成光子元件开发无光子标记生物传感器。它们用于生物标志物或微生物物质的选择性检测，并为疾病的早期检测提供合适的检测方法。
Fraunhofer IPMS将于2022年1月27日至202年2月1日参加在旧金山举行的SPIE Photonics West光子学会议和光子技术贸易展，在其展位以及海报会议和讲座中展示其研究成果。
