中科飞测-U取得自动聚焦光学干涉测量专利 提高光学传感器聚焦精度

根据国家知识产权局公告，深圳中科飞测科技股份有限公司成功取得一项名为“一种自动聚焦的光学干涉测量装置及聚焦方法、存储介质”的专利，授权公告号CN113945150B，申请日期为2021年9月。

该专利涉及一种自动聚焦的光学干涉测量装置及聚焦方法、存储介质。装置包括：干涉光源、光学传感器、驱动机构、处理器。

处理器通过获取干涉信号的包络曲线，确定光学传感器的粗聚焦位置。然后，在该粗聚焦位置的预设范围内，将干涉信号与预设的标准干涉信号进行比较，从而得到光学传感器的精准聚焦位置。通过逐渐确定光学传感器的聚焦位置，该技术方案提高了光学传感器的聚焦精度。

本专利方案不同于传统的单一包络线拟合方法，通过计算粗聚焦位置和精准聚焦位置，逐步提高了光学传感器的聚焦精度，有望显著提升测量装置的性能和准确度。

这一创新技术的取得将推动自动聚焦技术在光学干涉测量领域的应用，提升了光学传感器在测量过程中的准确性和稳定性。这项专利的授权有望促进科技发展，并在工业、科研等领域带来更广泛的应用。