国家知识产权局发布的消息显示,三星电子株式会社已经申请了一项名为“用于平行度测量的光学组件和包括该光学组件的光学装置”的专利,公开号为CN117168363A,申请日期为2023年4月。
专利摘要详细介绍了一种新的管芯接合系统,用于将管芯接合到晶片的方法。该方法利用显示干涉条纹的图像来测量管芯和晶片之间的平行度。在部分实施中,光学装置通过管芯接合系统产生干涉条纹,用于检测平行度和管芯变形。光学装置包括光源和被配置为控制参考光和测量光偏振的光学组件。另外,测量光依次通过垂直间隔的第一和第二测量表面,反射并从中出射,携带有关第一和第二测量表面间平行度的信息。其中,第一偏振器用于使得参考光和测量光产生干涉,而光检测器则用于检测干涉信号,其中包括干涉条纹的光。
三星电子株式会社的这项专利申请代表着他们在光学组件和平行度测量领域的新突破。这种新的管芯接合系统和光学装置的创新,为未来的测量技术带来了全新的可能性。如果这一技术得到成功应用,将为制造业和科学研究领域提供更为精准、高效的平行度测量方案,有望在微电子、光电子等领域发挥关键作用。
这次专利申请凸显了三星电子株式会社在科技创新和光学技术领域的持续投入。他们不断探索新的测量方法,为行业发展开拓出全新的道路,可能影响着未来光学组件和测量技术的发展方向。