中芯集成-U申请镜片保护装置专利 以减少附着物对光学镜片的影响

　　根据国家知识产权局的公告，绍兴中芯集成电路制造股份有限公司在2023年9月申请了一项名为“镜片保护装置及半导体设备”的专利，公开号为CN117148531A。

　　这项专利涉及半导体制造技术，提供了一种镜片保护装置及半导体设备。这个装置包括：

　　防护件：设有一个防护腔，该腔沿第一方向贯通于防护件。

　　防护腔内设置：分为高压腔室和低压腔室，分别用于不同的功能。

　　注气通道：与高压腔室连通，用于向其注入洁净气体。

　　抽吸通道：与低压腔室连通，用于抽出其中的气体。

　　这个设计的目的在于增加镜片保护装置对光学镜片的保护，减少附着物对光学镜片的影响，保证镜片的透光率，降低更换频率，从而延长光学镜片的使用寿命。

　　中芯集成电路的这一专利展示了在半导体领域的创新保护技术。通过专门设计的防护装置，镜片得到更好的保护，从而确保光学镜片始终保持高透光率，降低更换频率，进而降低维护成本。这种创新性的设计在半导体制造中可能具有重要意义，对相关领域可能产生广泛的影响。