科学家使用非接触式非球面光学元件计量出六足六轴定位平台

　　非球面或非球面透镜是一种光学元件，其表面由多项式方程定义。非球面围绕光轴旋转对称，但其曲率半径随距中心的距离而变化。与传统透镜相比，非球面透镜具有更高的性能，可以减少尺寸、质量和所用元件的数量——这是微型化的重要特征。医疗仪器、望远镜和照相机的制造商使用非球面来改进他们的产品。俗话说，“哪里有光，哪里就有影子”，就非球面而言，与传统镜片相比，此类镜片的生产和计量需要更复杂和创新的技术。

　　有几种方法可以量化非球面的表面精度，不同制造商使用接触式和非接触式设备。

　　一种称为“倾斜波前干涉法(TWI)”的新型非接触式计量方法利用六足平行运动学 6 轴运动系统的多轴灵活性和准确性来定位校准球。由计量专家 Mahr 实施的新方法现在将速度和灵活性结合到一个过程中。新机器可以直接在生产线上以高横向分辨率测量表面形状。测量不确定度小于50纳米。

　　新的计量系统获取多个在不同时间处于活动状态的子孔径，并将各个干涉图案组合成一个单一图案。需要具有<0.5µm 重复性和 <5µm 横向位置精度的高精度定位系统，以便使用校准球采集有意义的数据。