光学厂商Inprentus将展示AR光波导闪耀光栅刻划工艺 基于机械刻划技术

　　4月21日消息，衍射光栅厂商Inprentus宣布，将在SPIE 2023 AR|VR|MR上发布适用于AR光波导方案的闪耀光栅工艺。据悉，该工艺基于机械刻划技术，可在光波导上加入复杂的凹槽结构。

　　据青亭网了解，Inprentus的闪耀光栅机械刻划工艺原理是，使用金刚石笔来让金属表面变形，创建三角形凹槽。而这种凹槽结构，可用作光波导磨具，特点可在6英寸晶圆上叠加钽涂层作为氧化层，来促进下游压印工艺。

　　Inprentus创始人Peter Abbamonte博士表示：AR光波导通过表面衍射光栅来实现对光的全内反射（TIR），而调整光栅光谱响应的传统方式是通过闪耀结构。然而闪耀结构难以通过电子束光刻技术制造，尤其是在亚波长范围内，因此一直依赖于交替光刻技术。相比之下，Inprentus方案宣称可制造不对称、高度可调的闪耀结构，线密度范围可达3000-400 lpmm，从而实现更高的效率，并且降低光波导的eyeglow现象，消除了光刻光栅中常见的纱窗效应。

　　该公司还宣布，将继续与纳米压印光刻（NIL）公司建立合作，直接向AR厂商提供高透光光波导镜片。