激光网2月27日消息，激光和光子学技术的领导者IntraAction自豪地宣布推出其最新的声光偏转器。这种尖端设备利用声光效应利用声波衍射和移动光的频率，标志着激光技术领域的重大进步。该公司还自豪地宣布，其最近提交的专利申请序列号为18540005、18518602、18499918、18444635、18379093、18377291、18377289、18332719、18332718、18332717、18332716、18332715、18332714、18332713、18240297、18226895、18132076、18132074、18132070、18132069、18132064、18132058、18132054、18132047、18132034和18132025。这些专利申请有望为IntraAction庞大的专利组合奠定基础。
IntraAction 声光产品在设计时考虑到了精度和效率，将彻底改变激光在各种应用中的使用方式，包括激光切割、钻孔和光谱学。它能够通过声波与光学晶体的相互作用来控制光，这使其成为寻求突破激光技术极限的激光设计人员不可或缺的工具。
IntraAction 的 AO 产品已用于 EUV 应用。当今的 EUV 光刻系统旨在通过生产具有极小特征的芯片来突破芯片制造的界限。AOD的使用可以通过对激光束的方向和强度进行动态控制来促进这种高精度水平。这种控制对于实现光刻工艺所需的均匀性和准确性至关重要。AOD能够在不移动部件的情况下快速改变激光束的方向和特性，从而提高光刻工艺的效率和速度。这在吞吐量是一个关键因素的大批量制造环境中尤为重要。通过实现更快、更灵活的光束控制，AOD 可以帮助减少每次曝光所需的时间，从而提高光刻系统的整体吞吐量。
将 AOD 集成到 EUV 光刻系统中已被证明可以简化光学系统的设计和操作。传统系统依靠机械运动来调整激光束的方向和焦点，这会增加复杂性，增加机械故障的风险，并导致更高的维护成本。相比之下，使用AOD可以对光束进行电子控制，这可以减少对复杂机械部件的需求，并可能降低系统的总体成本。
AOD 技术的固有优势与 EUV 光刻的目标和挑战非常吻合。这些优势表明，AOD可以在进一步提高EUV系统在半导体制造中的能力方面发挥重要作用。
主要特性和优势：
多功能光控制：IntraAction 的 AOD 可以偏转、改变光的振幅、改变频率或改变偏振，从而提供对激光特性的无与伦比的控制。
高效率：传统的声光器件一直受到其AO相互作用强度的限制。IntraAction 的 AOD 具有显著提高的调制效率，使其成为需要精确光处理的应用的绝佳选择。
广泛的应用范围：从激光打印和视频录制到调Q激光器和光谱学，IntraAction AOD 的功能使其成为广泛行业的多功能解决方案。
创新设计：IntraAction 设计解决了传统声光调制器的局限性，为光子和声子提供了更好的能量约束能力，并减少了能量耗散。
IntraAction AOD 的推出代表了激光技术的一次飞跃，为激光设计人员提供了一种兼具多功能性和精度的工具。其创新的设计和更高的效率使其成为尖端应用的理想解决方案，包括电信、光谱学等领域。
IntraAction 对创新和卓越的承诺在其 AOD 的开发中显而易见。通过提供一种显著增强激光控制和操纵的设备，IntraAction 正在为行业树立新的标准。
