特种气体和先进材料领域的领导者EFC气体和先进材料公司很高兴地宣布推出其氖气回收系统，该系统现已获得Cymer的正式认证，可与其准分子激光器一起使用。氖对于深紫外光刻至关重要，在激光生产中起着至关重要的作用。这一突破性的系统为最终用户提供了长期稳定的霓虹灯定价，代表了EFC对可持续技术的承诺，有望改变稀有气体和半导体行业。
EFC 执行副总裁 Matt Adams 强调了氖气回收系统在推动创新和可持续发展方面的作用。“该系统现已通过OEM认证，是准分子激光技术的重大飞跃，提高了运营效率并提供了环境效益。这反映了我们致力于利用化学和技术实现积极变革的承诺。 Adams先生还对Cymer表示感谢，强调他们对更可持续的半导体生态系统的共同承诺。
氖气回收系统的主要特点：
OEM 认证卓越：该回收系统已获得 OEM 认证，可与行业标准准分子激光器无缝集成，确保可靠性和高性能。
稳定的霓虹灯定价：作为业内的开创性举措，该系统通过捕获和回收通常会排放的激光气体，确保长期稳定的霓虹灯定价和供应链连续性，从而为企业提供更好的财务规划和运营效率。
减少碳足迹：氖气的回收可以抵消其生产需求，在未来 20 年内，每个半导体晶圆厂可减少超过100万公吨的二氧化碳排放量。这与半导体行业对可持续制造的承诺相一致。
EFC Gases & Advanced Materials总裁兼首席执行官Pavel Perlov表达了他的热情：“无论全球供应波动如何，我们新型氖气回收系统的推出都是稳定氖气价格并确保其可用性的一个里程碑。该系统不仅仅是一个产品，它证明了我们致力于提供解决方案，推动半导体行业走向负责任的未来。
