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相干公司开发出输出功率为50W的工业紫外飞秒激光器 可对晶圆进行大批量切割

2023-06-08 11:08:10  来源:激光网原创    

  相干公司开发了一种输出功率为 50 W 的工业紫外 (UV) 飞秒激光器,非常适合通过直接烧蚀(包括碳化硅和堆叠式 OLED 显示器)对晶圆进行高速、大批量切割。

  移动和下一代芯片的晶圆开槽和显示器堆栈的精密切割等应用的快速增长正在加速对具有更高输出功率的激光工具的需求,这些工具可以高精度地高速加工材料。

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  Monaco 345-25-50 是首款具有工业级性能的 50 W 400 fs 紫外激光器,可实现大批量高精度切割。

  激光在紫外线中以高达 25 MHz 的重复频率提供能量高达 2 μJ 的脉冲,脉冲宽度低于 400 fs。它包括Monaco平台的所有标准功能,包括按需脉冲、可变脉冲宽度调谐、可变重复率和灵活的种子播种机突发模式。

  “我们的Monaco 345-25-50是我们非常成功的Monaco工业激光器平台的最新成员,代表了市场上最小的50 W飞秒激光器,”北美微电子与仪器高级副总裁Allan Ashmead说。

  “Monaco产品线经过现场验证,在全球工厂安装了800多个系统,每周7天全天候运行,批量生产医疗设备以及用于尖端消费应用的OLED显示器。

  Monaco 345-25-50扩展了相干公司在摩纳哥的红外和绿光激光器产品线,并继最近推出的新型高功率和高能Monaco 1035-150-150红外激光器之后又推出了产品线。

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