德龙激光申请晶圆搬运机构专利 结构简单、成本较低，能够实现晶圆的快速搬运

根据国家知识产权局的公告，苏州德龙激光股份有限公司成功申请了一项名为“晶圆搬运机构”的专利，公开号CN117766444A，申请日期为2023年12月。

这项创新涉及一种晶圆搬运机构，包括吸盘、吸盘固定板和龙门支架。吸盘固定板上安装有多个用于搬运晶圆的吸盘;龙门支架上装有X轴气缸，气缸支撑板连接到Y轴正方向，气缸转接板连接到Y轴负方向，而Z轴气缸连接到气缸转接板，气缸升降板则安装于Z轴气缸底部，底部配备吸盘固定板。这一结构简单、成本较低，能够实现晶圆的快速搬运。

这项发明采用了气缸、龙门支架、吸盘的组合，取代了传统的双轴模组组合，相比于传统双轴电机模组，具有空间小、成本低、重量轻等优点。这一创新技术为晶圆搬运领域带来了全新的解决方案。

随着技术的不断进步，晶圆搬运机构的创新将推动晶圆制造行业向前发展。这项技术的成功应用将大大提高晶圆搬运的效率和准确性，为晶圆生产领域带来全新的可能性。