知识产权局公告了一项令人瞩目的专利,标志着海目星激光科技集团股份有限公司在硅片加工领域的创新成果。该专利名为“一种整片硅片加工传输线”,授权公告号为CN220627825U,其申请日期可追溯至2023年8月。
据专利摘要显示,这项实用新型揭示了一种整片硅片加工传输线的设计。传输线包括上料传输线、下料传输线以及转运机构。最引人注目的是转运机构,它包含真空吸盘、支架和驱动组件。这些组件协同工作,实现对硅片的高效加工。
在这项专利中,转运机构的设计十分巧妙。它采用了并排设置的两块安装板,每块板上都固定有多个真空吸盘。当一块安装板位于激光加工工位时,另一块板则位于上料传输线或下料传输线的正上方。这种设计使得转运机构能够同时处理多张硅片,大大提高了生产效率。