国家知识产权局近期发布消息，海目星激光科技集团股份有限公司成功申请了一项名为“硅片输送系统、硅片加工设备以及硅片加工方法”的专利(公开号：CN117672934A，申请日期：2023年11月)。这一创新性的发明将为硅片加工领域带来全新的突破，成为科技潮流中的领军者。
硅片输送系统的核心在于其独特的转台装置，这一装置通过将硅片从进料位依次转动搬运至第一加工位、第二加工位和出料位，实现了硅片的有序流动。这种先进的输送方式为后续的硅片加工提供了高效而可控的基础。
硅片加工设备中，第一探针装置是一项巧妙设计。它包括受控能够上下移动的第一探针模组，位于第一加工位的上方。第一探针模组的作用是与位于第一加工位的硅片的第一加工区域相对，以避开硅片的第二加工区域。这样的设计保证了在硅片加工过程中能够精准地对硅片进行操作，避免不必要的干扰。
硅片加工设备的另一关键组件是第二探针装置。类似于第一探针装置，第二探针装置同样包括能够上下移动的第二探针模组，位于第二加工位的上方。第二探针模组的任务是与位于第二加工位的硅片的第二加工区域相对，以避开硅片的第一加工区域。通过这种巧妙的设计，硅片在加工过程中能够得到更为精密的处理，提高了加工效率和质量。
