国家知识产权局日前发布消息，苏州德龙激光股份有限公司喜获一项创新专利，名为“内嵌升降PIN的旋转载台”(授权公告号CN220400561U，申请日期为2023年4月)。这一专利的成功授予标志着苏州德龙激光在晶圆加工领域取得的又一突破性成果。
专利摘要披露，新型旋转载台内部设计了升降PIN组件。这一组件由丝杆电机、电机转接板、升降固定板、升降移动板、升降杆、吸盘和旋转底座组成。最令人瞩目的是升降PIN组件不仅在晶圆加工过程中实现了升降功能，而且还具备真空吸附功能，为晶圆机器人自动上下料提供了理想解决方案。
这一创新旋转载台的核心在于升降PIN组件的紧凑设计，旋转轴底座组件的固定底板上巧妙设置了旋转马达，而载台底座则巧妙安置了陶瓷盘。这种巧妙结构不仅节省了空间，还优雅地解决了传统晶圆加工载台与晶圆机器人协同操作的难题。
这一专利的成功授予，不仅是苏州德龙激光在晶圆加工领域的创新巅峰，更是为工业自动化注入了强大动力。内嵌升降PIN的旋转载台的应用，将极大地提高生产效率，为晶圆加工行业带来全新的发展机遇。
苏州德龙激光凭借这一独特专利，再次彰显了在科技创新领域的领导地位。这一成果的成功研发，不仅丰富了公司的技术储备，也为中国科技企业在国际舞台上赢得更多掌声。
