德龙激光获得实用新型专利授权：“内嵌升降PIN的旋转载台”

企查查数据显示，德龙激光成功获得一项实用新型专利授权，名为“内嵌升降PIN的旋转载台”，该专利将为晶圆加工技术带来新的革新。

这项实用新型专利涉及一种内嵌升降PIN的旋转载台，主要由以下几个组件构成：

旋转轴底座组件： 包括固定底板、设置有旋转马达的固定底板，旋转马达与载台底座相连接。

载台底座： 载台底座上设置有陶瓷盘，为晶圆的安装提供坚实支持。

升降PIN组件： 包括丝杆电机、电机转接板、升降固定板、升降移动板、升降杆、吸盘和旋转底座。该组件在晶圆加工旋转载台内部，不仅具备升降功能，还融合了真空吸附技术，为解决晶圆加工自动化上下料问题提供了巧妙解决方案。

这一创新设计在结构上紧凑，既能有效节省空间，又能为传统晶圆加工载台与晶圆机器人的协同自动化提供完美解决方案。升降PIN组件的引入，使得晶圆加工更为高效和灵活，为整个行业注入新的活力。

今年以来，德龙激光不仅斩获了6项专利授权，还通过持续的研发投入，取得了32.71%的同比增长。这一系列举措显示了公司对技术创新的持续承诺，为晶圆加工技术领域树立了标杆。