清华大学申请微型器件转移装置及转移方法专利 保证了微型器件转移的精准度

　　根据国家知识产权局的公告，清华大学提出了一项名为“微型器件转移装置及转移方法”的专利申请，公开号CN117276172A，申请日期为2023年11月。

　　这项发明涉及微型器件领域，旨在提供一种创新的微型器件转移装置，主要组成部分包括：

　　牺牲层： 与目标件对应设置，其朝向目标件的一侧有黏附层，用于黏附微型器件。

　　激光件： 用于朝向牺牲层背离目标件的一侧发射激光。

　　在微型器件转移到目标件时，黏附层可粘接于目标件，限定微型器件与目标件的相对位置。这一装置确保了黏附层与微型器件同时掉落到目标件上，并确保了微型器件可由黏附层固定在目标件上的位置。这种固定辅助装置防止了微型器件在工艺切换时的相对移动，也避免了转移后器件的反弹移位，保障了转移的精准性。