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Fraunhofer ISE开发用于晶圆加工的更快激光系统

2023-12-22 14:12:40  来源:激光网原创    

使用新型激光器,晶圆的加工速度可以比以前快 10 到 20 倍。这是德国弗劳恩霍夫太阳能系统研究所的一个研究项目的结果。

研究人员开发了一种原型,可以使用紫外波在硅晶圆上雕刻出最精细的结构。新的系统概念使太阳能电池制造商能够以最高速度进行激光加工,而不必在结构或加工场的尺寸上妥协。

为了从晶圆生产光伏电池,晶圆必须金属化。在此步骤中,细通道在细胞顶部开沟。银浆进入通道,然后用作导体轨道。通道进入硅片的速度对于电池的生产非常重要,以进一步降低生产成本。

Fraunhofer ISE提供的激光器每秒可以绘制1800条线。这比所谓的振镜扫描仪快 10 到 20 倍,后者通常用于此目的。激光器具有 10 兆赫兹的高重复频率和 5.6 微焦耳的最大脉冲能量。

该激光器还可以加工边长为 210 毫米的 M12 格式晶圆。激光雕刻的通道只有 15 微米宽。这比目前已经商业使用的紫外波激光器精细 30%。与非常普遍的红外激光器相比,新激光器的通道是其三倍。更细的通道可以减少银浆的使用,从而有助于进一步降低生产成本。

“演示器设计的特别之处在于,大型工件可以非常快速地加工,并且结构尺寸小,”Fraunhofer ISE项目经理Jale Schneider说。“大像场、快速加工、精细结构——您只能同时拥有这三种特性中的两种的想法在激光材料加工行业中根深蒂固。有了这个系统,我们同时实现了这三个愿望。

德国激光专家 Edgewave GmbH 开发了原型。Moewe Optical Solutions 为该项目构建了一台多边形扫描仪。在Fraunhofer ISE,该团队将多边形扫描仪、激光器和用于光束引导的轴组合成一个系统。该小组现在希望研究新的工艺来提高产量。

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