飞秒激光直写技术一直是微纳加工的先进技术,但横向和轴向分辨率之间的差异一直是其局限。最近,时空聚焦技术成为了解决这一问题的重要途径,为飞秒激光的三维各向同性加工提供了新的可能性。
飞秒激光直写技术在三维加工方面的应用受到轴向分辨率拉长的限制,这限制了其广泛应用。现有的光束整形技术虽然提出,但未能解决这一问题。
时空聚焦技术的发展为飞秒激光微加工提供了新的可能性。它通过引入时间聚焦维度,改善了轴向制造分辨率和消除非线性自聚焦效应,为激光技术带来了全新的维度。
时空聚焦技术的机理是利用不同频谱成分的空间色散,再经过物镜聚焦,使不同频谱成分在焦点处重新组合,从而使脉宽恢复到飞秒量级。然而,高重复频率飞秒激光光源的空间色散引入了大量负时间啁啾,限制了技术在高频率激光加工中的应用。
将时空聚焦技术应用到高重复频率飞秒激光光源是未来的发展方向,然而这需要额外的时间补偿。克服高频率激光空间色散引入的挑战,将为高效三维各向同性加工带来新的突破。