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飞秒激光直写光刻系统:搭建微观世界的工程伟力

2023-11-26 22:24:33     

  随着后摩尔时代的来临,自主研制芯片结构以实现特殊功能表达成为科研与产业界的焦点。商业化的光刻技术为这一宝贵机遇提供了新的出路。杭州玉之泉精密仪器有限公司在国内光刻企业中脱颖而出,其光刻商业用机具有“高通量、高精度、高性比”的明显优势,为国内科研和产业用户提供更优质的光刻选择,成为引人瞩目的光刻技术领域新势力。

  激光直写技术已成为诸如超构表面、神经计算芯片和微流控芯片等前沿应用的主流加工方案。后摩尔时代的光刻技术对器件表现具有巨大影响。作为综合技术,新一代直写光刻在科研和工业领域交叉范围内担任着重要角色,被誉为最耀眼的“桂冠”。

  双光子光刻技术 (TPL) 基于飞秒脉冲光源,自面世以来备受关注。TPL无需掩模版,具备3D微观结构加工能力,灵活应对不同微纳器件加工需求。尽管潜力巨大,但其加工精度和效率仍需提升。

  光刻效果优化离不开光刻胶材料的优选、激光光源的调制以及刻写方法的改良。这涉及多学科领域,技术难度极高,也是国家出口制裁的重点领域。过度依赖进口光刻设备导致技术困境,限制了国产半导体行业的发展。

  浙江大学刘旭、匡翠方教授团队在双光子光刻领域做出了卓越工作。他们的研究填补了技术空白,成功将激光直写系统精度提升至20-50 nm尺度。团队研制的激光直写系统为国产双光子激光刻写装置开启新局面。

  杭州玉之泉精密仪器有限公司致力于光电领域的高端设备与解决方案。他们主营飞秒激光直写系统研制和微纳产品加工服务。公司提供最先进的光刻设备和自研高质量光刻胶,助力客户满足微观结构加工需求。

  中国光刻技术迎来了新的发展机遇。玉之泉精密仪器希望为科研和工业用户提供全新选择,助力国货自强。公司还在光刻设备和微纳加工领域不断突破,为国产光刻技术发展注入新的活力。

  这些领先科技的发展不仅将推动中国光刻技术发展,也将为世界科技领域带来新的探索与进步。

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