光子学制造商 Energetiq 成立了激光驱动光源业务部门。Energetiq 的 LDLS 技术可产生极小、高亮度的等离子体,提供高效的光收集和从深紫外到近红外的宽光谱范围。该技术的应用包括半导体计量、椭偏仪、光刻和光刻胶开发。
维克拉姆·辛格将担任新成立部门的副总裁兼总经理。Singh曾在泛林集团和应用材料公司担任过各种职务,责任越来越大。他曾担任高管职位,负责新产品开发和技术供应链。
去年,Energetik为其极紫外光源产品建立了一个专门的部门,并在其母公司滨松光子学总部建立了一个研发设施,以支持EUV业务部门。