公司概况：优秀的精密激光加工设备一体化供应商
公司是专注于精密激光加工行业的一体化设备供应商。公司主营业务为精密激光加工 设备及激光器的研发、生产、销售，并为客户提供激光设备租赁和激光加工服务。凭借先 进的激光器技术、高精度运动控制技术以及深厚的激光精细微加艺积淀，公司聚焦于 半导体、显示、新型电子及新能源等应用领域，为各种超薄、超硬、脆性、柔性及各种复 合材料提供激光加工解决方案。同时，公司通过自主研发，目前已拥有纳秒、超快（皮秒、 飞秒）及可调脉宽系列固体激光器的核心技术和工业级量产的成熟产品。
公司长期致力于新产品、新技术的研究和开发，坚持技术驱动。公司成立于 2005 年， 总部位于苏州。2006-2011 年，公司先后成功开发激光划线设备、薄膜激光蚀刻设备、晶 圆激光切割设备，分别应用于光伏、消费电子和 LED 芯片领域，并获评“江苏省高新技术 企业”及“国家火炬计划重点高新技术企业”称号。2012 年，公司整体变更为股份制公 司。2015-2021 年，公司持续开发新产品，激光切割设备应用场景拓展至硅基半导体晶圆、 显示行业的全面屏以及 Mini LED 晶圆，并获评国家专精特新“小巨人”称号。2022 年， 公司成功在上交所科创板挂牌上市。
公司与下游众多知名客户建立了稳定的合作关系。在半导体领域，公司主要客户包括 中电科、三安光电、华灿光电、水晶光电、五方光电、美迪凯等；在显示领域，公司主要 客户包括京东方、华星光电、维信诺、同兴达、天马微电子、群创光电等；在消费电子领 域，公司主要客户包括东山精密、信利公司等；在科研领域，公司主要客户包括中钞研究 院、中科院等。公司的技术与产品得到了下游领先企业的一致认可，帮助公司在激光精细 微加工行业中确立了稳固的市场地位。
公司股权结构相对集中。公司董事长兼总经理 ZHAO YUXING 博士为第一大股东，持 股 22.97%；前十大股东持股总比例为 62.7%，股权结构相对集中。公司董事长兼总经理 ZHAO YUXING 博士拥有 30 年以上的激光、光电行业领域学术研究经验，为行业内有重 要影响力的技术研发专家之一。公司已形成了一支以 ZHAO YUXING 博士为核心的稳定、 卓越的研发和管理团队。
2022 年前三季度公司业绩受疫情影响暂时承压。2018-2021 年公司营业收入从 3.23 亿元增长至5.49 亿元，4 年 CAGR 为 19.4%；归母净利润扭亏为盈，从-0.07 亿元增长至0.87 亿元。2022Q1-3 公司实现收入 3.57 亿元，同比-1.78%；实现归母净利润 0.35 亿元， 同比-30.62%。归母净利润的下降有两方面原因：1）受疫情及市场需求影响，产品验收不 及预期；2）公司进一步加强新产品、新技术的研发投入，以及新市场的开拓，研发费用 和销售费用增加。预计随着疫情影响消退，公司盈利水平有望得到迅速修复，并且高研发 投入将为公司未来业绩增长带来更加强劲的驱动力。
2022 年前三季度公司毛利率小幅波动，净利率受高费率影响有所下降。2022Q1-3, 公司毛利率和净利率分别为 49.46%、9.7%，与去年同期相比分别下降 0.98pct、4.03pcts。 整体来看，公司在疫情扰动下毛利率略有波动；而净利率出现了明显下降，这主要缘于前 三季度公司期间费用率的大幅提升，其中销售费用率、管理费用率和研发费用率同比增幅 分别为 2.95pcts、1.25pcts 和 4.75pcts。
精密激光加工设备营收占比持续提升，自制激光器毛利率超过 50%。2021 年，公司 精密激光加工设备业务规模进一步扩大，实现营收 4.04 亿元，同比增长 34.7%，占总营 业收入比例进一步提升至 73.46%，持续助力公司业绩增长。另外，公司激光器业务和激 光加工服务毛利率分别达到 51.8%和 54.7%，同比分别+2.67pcts、+2.78pcts，增幅明显， 显示出公司自研激光器的强劲市场竞争力。
行业分析：中国激光设备市场快速扩张，精细微加工 领域需求爆发
政策端：国家出台多项有利政策措施，助力我国激光产业快速发展
中国激光产业处于快速发展阶段。在早期，欧美等发达国家作为传统激光技术强国， 最先在工业生产领域大规模使用激光设备，培育出了德国通快、美国相干、IPG 等长期占 据全球激光器市场绝大部分份额的国际巨头。国内激光技术起步较早，曾在半导体激光器 等领域位于国际前列。经历中间十余年发展停滞期后，我国激光产业化迎来快速发展。随 着我国制造业的转型升级，高端工业领域对激光设备的需求激增，国内激光器和激光设备 产业链迅速发展壮大。目前，千瓦级国产激光器销量实现了反超，中低功率的光纤激光器 已完全实现国产化替代。但在高端激光器和激光设备生产上，由于普遍存在的规模小、起 步晚、研发水平不足的问题，再加之受到上游光学元器件质量不够高的桎梏，与欧美发达 国家尚存在较大的差距。
国家持续出台系列政策措施，助力激光产业良好发展。近年来，政府部门出台了一系 列政策措施，鼓励支持激光产业发展。2016 年，科技部发布《“十三五”国家科技创新规 划》，明确提出要加快研制具有自主知识产权的大功率光纤激光器。2017 年，发改委在《战 略性新兴产业重点产品和服务指导目录》中将高性能激光器、准分子激光退火设备、半导 体激光器件、高性能全固态激光器件、光纤激光器件、固态激光材料以及稀土激光晶体等 纳入到战略性新兴产业重点产品。2020 年，发改委发布《加强“从 0 到 1”基础研究工作 方案》，提出要重点支持激光制造领域，推动关键核心技术突破。2021 年，全国人大发布 《“十四五”规划》，提出要培育先进制造业集群，推动集成电路、航空航天、船舶与海洋 工程装备、机器人、先进轨道交通装备、先进电力装备、工程机械、高端数控机床、医药 及医疗设备等产业创新发展；激光加工技术作为高端制造行业广泛应用的重要技术，将获 得快速发展的良好政策环境。
市场端：全球激光设备市场稳步增长，我国激光设备市场份额超六成
全球激光设备市场保持稳步增长趋势。根据中国科学院武汉文献情报中心发布的 《2022 中国激光产业发展报告》，得益于激光设备突出的性能优势以及持续拓宽的应用 领域，在 2014-2021 年间，全球激光器市场从 93.6 亿美元增长至 210.1 亿美元，复合年 均增速达到 12.2%，长期保持稳定增长。2021 年，在复杂艰难的经济和政治环境中，全 球激光设备市场销售收入仍实现了 16%的高增长。
中国已经成为全球最大的激光设备市场。在制造业产业升级以及国家大力推动智能制 造行业发展的积极影响下，中国激光设备市场规模持续扩大，2021 年销售收入达 821 亿 元，占全球激光设备市场销售收入的 61.4%。据 Laser Focus World 预测，2022 年中国激 光设备市场规模有望达到 150 亿美元。
技术端：激光设备广泛用于高端制造业，精细微加工领域需求爆发
激光器产业链可分为上、中、下游三段。上游主要包括光学材料、光学元器件、机械、 数控、电源及辅助材料等，中游主要是各种激光器及其配套装置与设备，下游则以激光应 用产品、激光制造装备、消费产品为主。
激光器是激光的发生装置，主要由泵浦源、增益介质、谐振腔等组成。泵浦源是激光 器的能量供给来源；增益介质是激光器的核心，会吸收泵浦源提供的能量并将激光放大； 谐振腔是两面互相平行的镜子，其作用是把光线在反射镜间来回反射并多次经过增益介质， 因而在缩短工作物质长度的同时还能达到放大激光功率的目的。
激光器可以按照增益介质、输出功率、工作方式、泵浦方式和输出波长等不同维度进 行分类。按照增益介质的不同，激光器可以分为液体激光器、气体激光器和固体激光器（光 纤、半导体、全固态、混合），其中光纤激光器由于增益介质较为特殊且市场份额较高， 一般将其与其他固体激光器区分开。按照输出功率的不同，可以将光纤激光器分为小功率 （0-1kW）、中功率（1kW-3kW）、高功率（3kW-6kW 以上）。按工作方式的不同，激光器 可以分为连续激光器和脉冲激光器。按泵浦方式的不同，激光器主要可以分为光泵浦激光 器、电泵浦激光器、化学泵浦激光器、热泵浦激光器和核泵浦激光器。按输出波长的不同， 激光器可分为红外激光器、可见光激光器、紫外激光器等。
激光设备广泛应用于高端制造行业，精细微加工领域成为新的增长市场。激光器及其 配套装置共同组成了成套激光设备。大部分的激光设备早期主要应用于航空航天、机械制 造、动力能源等领域的大型材料的切割、焊接和打标，主要是对传统加工存量市场的替代 和优化升级；近年来激光技术正逐步向精细微加工的增量市场拓展，充分满足通讯、显示 面板、消费电子、集成电路、医疗医美、光伏新能源等领域对精细微制造的工艺需求。据 中国科学院武汉文献情报中心发布的《2021 中国激光产业发展报告》统计，2020 年，我 国工业激光设备的市场规模为 432.1 亿元，市场份额高达 62.5%。
皮飞秒超快激光器在激光精细微加工领域的应用需求持续提升。激光精细微加工一般 是指利用激光手段在微米级别的精度下对材料器件进行加工的工艺过程。凭借其精度高、 柔性强、热效应小、适用面广泛等优势，激光精细微加工逐步成为高端精密制造领域的核心加工手段。从具体的激光器类别上来看，固体激光器，尤其是短波长、短脉宽的皮秒、 飞秒超快激光器，在目前的激光精细微加工领域应用最为广泛。根据中国科学院武汉文献 情报中心发布的《2021 中国激光产业发展报告》，2020 年我国超快激光器市场规模为 27.4 亿元；国产纳秒紫外激光器的出货量由 2014 年的 2300 台增长至 2020 年的 2.1 万台，复 合年化增速达 44.57%；而国产皮飞秒超快激光器出货量由 2015 年的 40 台增长至 2020 年的 2100 台，5 年间增长超 50 倍。据前瞻产业研究院预测，2026 年我国超快激光器市 场规模有望达到 62 亿元，预计未来激光设备在精细微加工领域的应用需求将持续提升。
公司分析：发挥激光产业一体化优势，全面拓展高端 应用领域
业务布局：深耕精密激光加工设备市场，不断拓宽产品矩阵
公司主要产品与服务主要分为四类，分别为精密激光加工设备、激光器、激光设备租 赁和激光加工服务。公司自设立以来专注于精密激光加工设备，根据下游应用领域和技术 路径的不同，其可分为半导体领域激光加工设备、显示领域激光加工设备、消费电子领域 激光加工设备及新能源领域激光加工设备。2007 年，公司开始自主研发激光加工设备的 核心零部件，激光器；目前自产激光器覆盖纳秒激光器、皮秒激光器、飞秒激光器及可变 脉宽激光器等多种品类。2011 和 2017 年，公司根据多年来在激光精细微加工领域的经验 和客户需求，先后成功扩展激光加工服务业务和激光设备租赁业务，实现精密激光应用产 业链的延伸。
公司专注于精密激光加工设备，不断拓宽产品矩阵。自成立以来，公司着眼于激光技 术前沿应用领域，持续推出针对不同应用材料的激光加工设备，应用范围涵盖半导体、消 费电子、显示、光伏、以及科研等领域，构建了公司持续研发的核心竞争力。
竞争优势：核心零部件自主可控，固体超快激光器性能领先
公司是国内少有的激光加工设备全产业链公司，充分发挥一体化协同效应。激光器是 激光加工设备的核心零部件，其性能优劣直接影响激光加工设备的品质。在超精密加工应 用领域，客户对于激光加工设备的质量和稳定性要求更为苛刻。激光器通常约占激光加工 设备成本的 30%-50%，掌握激光器核心技术，是降低激光加工设备成本，提升设备竞争 力的关键所在。2019-2021 年，公司搭载外购激光器的激光加工设备毛利率分别为 38.3%、 38.2%和 39.4%，与同行业可比公司平均毛利率水平不存在明显差异。与之对比，公司搭载自产激光器的激光加工设备同期毛利率分别为 46.6%、56.9%和 56.2%，具有明显的毛 利率优势。公司通过激光器的自主研发和生产，从源头掌握精密激光加工设备的核心技术 和优势，能够有效降低设备成本，提升公司的技术壁垒和竞争优势；同时，公司能够借助 下游客户的需求反馈，持续改进激光器和加工工艺，发挥强大的一体化协同效应。
公司长期坚持激光器自研自产，已实现核心零部件的自主可控。2008 年，公司推出 纳秒激光器，目前输出功率可以达到 25W。2012 年，公司推出皮秒激光器，目前红外、 绿光和紫外输出功率分别可以达到 100W、70W 和 50W。2017 年，公司推出飞秒激光器， 目前红外、绿光和紫外输出功率分别可以达到 100W、50W 和 30W。2019 年，公司推出 可调脉宽激光器，目前脉宽可调范围 200ps-200ns，红外和绿光输出功率分别达到 50W、 30W。2021 年，公司研发完成光纤皮秒激光器，主要应用于半导体领域的 LED 晶圆切割。
公司自主研发的激光器主要为固体激光器及光纤超快激光器。按照激光脉冲宽度划分， 公司激光器产品包括纳秒激光器、皮秒激光器、飞秒激光器及可变脉宽激光器等，主要用 于公司配套生产精密激光加工设备，部分激光器产品对外销售。
公司固体超快激光器产品性能指标处于行业较为领先水平。公司掌握了激光谐振腔光 学设计技术、长寿命皮秒种子源技术、高功率高增益皮秒放大器技术、长寿命飞秒种子源 技术、高功率高增益飞秒放大器技术、高效率的波长转换技术、激光器控制技术等整套的 激光器技术，拥有较强的技术优势和市场竞争地位。
技术体系：打造完备技术体系，高研发投入深筑技术护城河
公司具有完备的核心技术体系。公司自成立以来一直致力于先进激光器的研发和激光 精密加工应用装备的研发，核心技术涵盖激光器相关技术、激光加工工艺技术和激光加工 设备的单元技术三部分。
公司重视研发投入，已形成丰富的知识产权储备。2019 年以来，公司研发投入力度 持续攀升，2022 年前三季度研发费用达到 0.58 亿元，研发费用率提升至 16.14%的历史 新高。截至 2022 年三季度末，公司已累计获得发明专利 34 项、实用新型专利 110 项以及 软件著作权 63 项。丰富的技术储备帮助公司建立起牢固的技术护城河。
增量市场：半导体和显示领域持续拓展，钙钛矿设备实现突破
1）半导体领域：碳化硅晶锭激光切割设备
以碳化硅为代表的第三代半导体材料应用前景广阔。与硅材料相比，以碳化硅晶片为 衬底制造的半导体器件具备高功率、高频、低能耗、耐高压、耐高温、抗辐射能力强等优 点，可广泛应用于新能源汽车、光伏发电、轨道交通、智能电网、5G 通讯、航空航天等 现代工业领域。根据 Yole 数据，2021 年全球碳化硅功率器件的市场规模约为 10.9 亿美元； 受新能源汽车、光伏储能等领域的需求带动，预计到 2027 年碳化硅功率器件的市场规模将增长至 63 亿美元左右。
衬底在碳化硅器件制造中占据核心地位，激光切割技术优势明显。碳化硅产业链可以 分为衬底材料制备、外延生长、芯片设计、器件制造和应用等环节。据前瞻产业研究和 CASA Research 在 2020 年发布的数据，衬底在碳化硅功率器件成本结构中占比 47%。在 碳化硅晶锭切割工序中，由于碳化硅材料的硬度仅次于金刚石，要使用金刚线进行切割， 生产加工难度较大，且切割过程中易碎，良率和产出低，一定程度上制约了碳化硅芯片的 推广普及。碳化硅晶锭激光切片技术能够有效减少当前线切割工艺的损耗，提高成片率， 助力碳化硅产业链在源头上提升产品良率及生产效率。
半导体激光加工领域是公司产品的核心应用方向之一。自成立以来，公司持续致力于 半导体激光加工设备的研发，已陆续推出 LED 晶圆激光划片设备、硅晶圆激光划片设备、晶圆激光应力诱导切割设备、晶圆激光开槽设备等，不断丰富半导体激光加工设备产品线。 凭借优良的产品性能和持续的研发能力，公司已进入众多主流半导体厂商的供应商体系， 包括国内最大的半导体设计企业华为海思，国内最大的半导体制造企业中芯国际，国内最 大的半导体封装测试企业长电科技，以及第三代半导体器件厂商代表企业华润微、泰科天 润、能讯半导体等。
公司已完成碳化硅晶锭切割技术的工艺研发，目前已进入客户端测试验证阶段。该技 术主要面向碳化硅晶锭的分片环节，采用激光加工的方法，可对第三代半导体碳化硅晶锭 提供高效、高品质分切解决方案，可最大支持 8 英寸晶锭分切、最大切割速度 800mm/s。 相比于传统金刚丝切割工艺，在材料耗损、晶片产出、良率和切割效率方面均具有明显的 领先优势。另外，公司正在研发“碳化硅晶圆激光隐形分切系统的研发及产业化”项目， 若项目成功将实现我国第三代半导体晶圆高效、高品质分切的装备及其核心部件激光器的 关键突破，打破国外在第三代半导体核心装备领域的技术垄断，打破我国第三代半导体各 环节国产化率低、依赖进口的局面。
2）显示领域：Micro LED 激光巨量转移技术
Micro LED 被视为具有颠覆性和革命性的下一代显示技术。Micro LED 是将 LED 发光单 元进行微小化和阵列化的新技术，芯片尺寸一般小于 50 微米，相较于 LCD、OLED 具有响应 速度快、自主发光、对比度高、使用寿命长等突出优势，同时具备轻、薄、省电等特点，在小 尺寸可穿戴设备、AR/VR、手机、平板、车载显示、TV 等显示领域都具有较好的应用潜力。 据 Yole 预测，至 2025 年基于 Micro LED 技术的产品如高端电视机、手机、手表等将逐步上 市出货量可达 3.3 亿只模组，Micro LED 显示市场产值将超过 100 亿美元。
巨量转移技术是 Micro LED 产业化过程中长期待解决的关键技术。随着 Micro LED 芯片尺寸逐渐减少，Micro LED 芯片集成已经成为其产业化的技术瓶颈，其转移速度需要 上百万颗/小时，转移可靠性需要满足 99.9999%，转移精度需控制在±5 微米，这种极端 的工艺要求使传统的芯片集成和组装技术完全失效，因此亟需发展面向未来的大面积、高 密度 Micro LED 显示的巨量转移技术。目前巨量转移技术仍处于快速发展过程，技术流派 众多，包括分子作用力、静电、磁力转移、激光转印和自组装等。
公司推出激光转印技术系列解决方案，包括 Micro LED 激光剥离设备、Micro LED 激光巨量转移设备和 Micro LED 激光修复设备。公司深耕激光精细微加工应用，在晶圆 激光加工领域有 15 年的经验和积累。公司推出的 Micro LED 激光巨量转移设备使用准分 子激光器，其对转移材料的适应性强，能够保证转移良率高、稳定性和一致性好。设备关 键核心工艺自主开发，可定制化设计程度高，整机实现全自动运行。目前公司 Micro LED 激光巨量转移设备已获得头部客户首台订单。
钙钛矿电池具有高效率、低成本优势，代表光伏电池的未来方向。钙钛矿材料是指一 大类具有类似钙钛矿（CaTiO3）晶体结构的 ABX3 化合物，A、B 分别是指离子半径不同 的有机或无机阳离子，X 代表阴离子。钙钛矿电池具有转换效率高、生产成本低的突出优 势。一方面，钙钛矿电池材料性能优异，单结钙钛矿理论效率超过 30%，高于晶硅电池的 效率极限 29.4%，而且钙钛矿还可以通过叠层实现 40%以上的理论转换效率。另一方面， 用于光伏电池制造的钙钛矿材料由自然界常见的元素组成，并且对杂质容忍度高，吸光系 数更高，能够实现低成本规模化制造。
钙钛矿电池生产线包含高价值量激光设备。钙钛矿电池制造流程包含 P1-P4 四道激光 加工工序，其中 P1、P2、P3 工序需要用到激光划线设备，P4 工序需要用到激光清边设备。相比于其他类型光伏电池，钙钛矿电池生产线对激光设备的需求量明显增加，且要求 激光设备具备高超的精细微加工能力；对于脉冲激光器而言，一般要求脉冲宽度在纳秒级 以上，即包括纳秒激光器和皮飞秒超快激光器等。
公司成功研发钙钛矿电池激光加工设备，已具备百兆瓦级批量供货能力。早在 2009 年，公司就推出过非晶硅薄膜太阳能电池的激光刻蚀设备，在薄膜太阳能电池生产制造及 激光加工工艺方面具有技术储备及工艺沉淀。2022 年，公司首套钙钛矿薄膜太阳能电池 整线激光加工设备已交付客户并投入使用，助力客户在国内率先实现百兆瓦级规模化量产。 目前公司正在进一步开发针对钙钛矿薄膜太阳能电池的新一代生产设备，对设备的加工幅 面、生产效率等进行迭代升级。
盈利预测
1、 收入端
精密激光加工设备：该业务是公司的核心业务，2022 年受疫情影响增速有所放缓； 随着公司在半导体、显示和新能源领域的新产品陆续放量，精密激光加工设备业务收入有 望迎来高增长，预计 2022/23/24 年该业务营收增速约为 6%/45%/35%。 激光器：公司自研的激光器主要用于设备配套，部分对外销售，形成激光器销售收入； 2022 年受宏观经济及疫情影响，行业景气度下行，公司激光器业务收入随之下降；随着 疫情等不利影响逐渐消退，公司在超快激光器方面的竞争力愈加凸显，预计 2022/23/24 年该业务营收增速约为-10%/30%/25%。
激光加工服务：该业务是公司核心设备业务的延伸，预计将随着公司精密激光加工设 备业务的收入规模扩大保持一定比例增长，预计 2022/23/24 年该业务营收增速约为 5%/20%/15%。 激光设备租赁服务：随着公司重点发展精密激光加工设备的销售业务，设备租赁模式 或将逐步式微，收入规模逐年下降，预计 2022/23/24 年该业务营收增速约为-30%/-20% /-15%。 其他业务：公司其他业务主要包含维修及配件等业务，将随着公司核心业务营收规模 的扩大同步增长，预计 2022/23/24 年该业务营收增速约为 8%/30%/30%。
2、 成本端
精密激光加工设备：该业务是公司核心业务，随着公司精密激光加工设备产品的品类 增多，以及业务规模的扩大，该业务整体毛利率将保持一定水平后逐步小幅下降，预计 2022/23/24 年该业务毛利率约为 47%/47% /46%。
激光器：近年来公司激光器产品逐步向高端领域拓展，超快激光器性能指标行业领先， 将持续保持强劲的市场竞争力，预计 2022/23/24 年该业务毛利率约为 50%/50% /50%。 激光加工业务：公司是激光设备一体化供应商，具有突出的业务延伸能力，激光加工 服务能够保持较高的毛利率水平，预计 2022/23/24 年该业务毛利率约为 55%/55% /55%。 激光设备租赁服务：随着公司对设备销售业务的重点投入，租赁服务业务规模将逐步 缩小，保留部分高毛利率的租赁需求，预计 2022/23/24 年该业务毛利率约为 52%/52% /52%。 其他业务：公司其他业务主要为维修及配件业务，与核心设备业务具有较强关联性， 有望保持高毛利率水平，预计 2022/23/24 年该业务毛利率约为 60%/60% /60%。
3、 费用端
2022 年公司积极开拓半导体、显示及新能源等领域的激光应用，各项期间费用大幅 提升；随着新设备产品的陆续研发完成以及规模效应的逐步显现，公司费用水平将有所改 善，预计 2022/23/24 年销售费用率约为 17%/13.5% /13%，管理费用率约为 10%/9%/8%， 研发费用率约为 16%/14%/12%。
